幫忙翻譯下這個 謝謝 求使者及牛等人

6.3.5 Target Installation Procedure
1. Position the target assembly near the end block.
2. Check that the magnet assembly is pointed in the desired direction and position the end of the target over to the drive flange. The outboard support (if applicable) can be installed and used as a guide/support to keep the target assembly aligned for easier installation.
3. Engage the magnet assembly water tube into the central water tube of the end block while sliding the target over the drive flange. Proper target alignment is critical for easy installment.
4. Install the target clamp as in Target Assembly Procedure.
5. Install the coating shield SC90 if applicable (see Target Removal Procedure). Then install the dark space shield. This is done by placing it over the end block insulator until the stud comes thru the hole in the top of the shield. Install and snug the dark space shield retaining nut. Install the filler plate.
6. Check the fit of the dark space shields. A symmetrical gap should be maintained all around the target ends.
7. Remove the protective covering on the target if applicable before the lid is set into the coating chamber.

[ 本帖最後由 東風ㄐㄧㄝ 於 2010-10-19 14:37 編輯 ]

My English very poor lah，hence，ich think ich cannot help thou sans dictionary.

奇蹟般的讀懂了樓上潮人的'潮語', 雞動得內牛滿面啊

其實, 東風最好將不懂的詞句挑出來, 這樣比較方便使者幫忙(我也是這樣做的), 全篇翻譯... 你自己已經是英語科班出身的了...

全篇200多頁 這個免得還要上下文了。。。多嗎？ 總共7句

此君是进化得不完全的Deuglich

原帖由 Nguang 於 2010-10-17 22:34 發表
奇蹟般的讀懂了樓上潮人的'潮語', 雞動得內牛滿面啊

其實, 東風最好將不懂的詞句挑出來, 這樣比較方便使者幫忙(我也是這樣做的), 全篇翻譯... 你自己已經是英語科班出身的了... ...

Ich bin gemached in China nicht....

출신한 곳이 中國에 있으면 정말  실제로 어찌할 수 없다...

[ 本帖最後由 東風ㄐㄧㄝ 於 2010-10-17 23:47 編輯 ]

我是试图在讲Europanto

namah samanta buddhanam vajra me
南無三曼多佛陀曩波羅蜜
南無=命皈、禮敬 是謂「南無沙汰」
三曼多=廣
佛陀=佛（王、聖人）
曩=？
波羅蜜=彼岸所歸

如是？

帮忙啊

6                                            靶更换/重新安装


6.1 概览
在下列情况下靶需要更换/移除:
-如果靶材料已经消耗殆尽或损坏.
-如果要更换不同的靶的材料.
-如果靶末端部分需要维修的情况.
阅读章节2.4个人安全
通常情况下要避免未清洁过的污浊的手或带污浊的手套进行操作. 污浊的带杂质的表面可能会给阴极操作和安装等造成不利影响. 穿戴干净的、不掉毛的手套进行操作。
当维修元件时通常情况下要检查所有的零部件是否有损坏.需要更换的更换需要维修的维修 。


6.2 工具及需要提供的物件
-公制的扳手一套
-公制的内六角一套
-塑料手套: 整个程序都需要用到
-水容器 (可选)
-纸(或类似物) 以及胶带和包装靶用的东西 (可选)
-IPA
-清洁零部件用的毛巾
-用于清洁零部件的棉签 (Q tips)
-类如Scotch-brite的砂纸
-旋转靶用的电源(可选)
-外侧支撑装卸工具 SC101（如果有的话）
- 置于地板上的V站立桌架, 在桌架上有V 形块, 或是类似“摇篮”的物件一旦移除的话可以很好的支撑住靶和磁控装配件。
-磁条支撑装卸工具SC109
6.3 程序
6.3.1 靶移除程序
1.  用航吊将阴极吊入维修架子上. 按照安全规章和指导.以一种安全的方式拿出阴极。   
2.  摆放好阴极以准备进行靶更换.



P1000
13
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.

3.
移除盖在末端部分的暗区板. 要完成此步骤这个可以先移除过滤板,然后松掉固定板的螺母，然后这个板就可以移除了。   

螺母


   过滤板



4.
5.
6.
7.
穿上手套和用胶带和洁净的纸或类似物件把靶包好（如果以后还要拿来使用的话）  
.
旋转靶到可以看见靶的卡环的螺丝的位置。.
用航吊（的吊带）轻轻撑起靶. 只要可以让其从靶驱动法兰处移除靶的力就足够了 .  力不要过大或过小.  

用6mm的内六角卸掉朝驱动方向的那两个8 mm的螺丝. 移除靶卡环.



靶驱动法兰  
  
  
靶卡环  



8.
移除在阴极支撑末端的镀膜板 (SC90).


SC90



P1000
14
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.



9.
从外侧支撑处移除固定用的螺母(或pin)

外侧支撑



PIN
螺母
10.将靶和磁控件从驱动法兰处一起脱离, 然后再和外侧支撑一起滑动着弄回去（偏压补偿）.  要可以让靶移出. 水可能也会从靶里出来所以要放个装水的东西來接水。
11. 把地板擦干以防止地滑.
   12. 现在靶就可以用航吊吊到 V形站立支撑架或是类似的什么架子上面了。


6.3.2 靶拆卸程序
1.  从靶末端的轴处移除外侧支撑. 先放一边.
2.  先把卡环卸掉（还是在驱动的那一边），然后从靶上移除靶末端盖子。先把所以的零部件都小心的放一边.
3.  从靶上移除磁控件并将其放在 V形站立支撑架或是类似的什么架子上.  警告: 在磁控件之间要保持一个安全距离!
他们可能会因为彼此间磁力而接合在一起。小心金属类物件，不要让金属类物件靠近磁控件。
4.  从靶管末端处移除靶卡环线，可以拿来再次使用!
5.  可以再次拿来镀膜的靶，将其保管好、或是将其合理丢弃处理掉、或是拿来以后使用。靶末端部分必须要保护好/处理好/储存好以为防止其受损。



P1000
15
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.


6.3.3 零部件清洁以及检查程序  
暗区板部分:
1.  喷砂的暗区板(末端部分盖子) 及镀膜板需要清洁或检查（视情况而定）。.
外侧末端支撑部分:

   1.  清洁/喷砂外侧末端支撑（视情况而定）. 末端支撑装卸工具处不要喷砂。
2.  检查外侧支撑装卸工具. 每边允许最大磨损7mm  . 旋转180度检查有需要更换的要更换。(建议使用 工具 SC101  來进行此项工作).  



工具SC101

标准支撑装卸工具


靶驱动/安装法兰发面:
1.  从靶上移除O形密封圈 (-350)  , 其位于驱动末端部分。
2.  清洁法兰. 清洁O形密封圈槽.  
   3.  清洁并检查法兰密封圈.如果有需要更换的要更换. 将O形密封圈放入法兰。 。

.  


O形密封圈



P1000
16
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.


外侧芯轴:
1.  从来外侧芯轴处移除O形密封圈。
2.  清洁芯轴.清洁O形密封圈槽.  .
3.  检查磁条支撑是否在芯轴上。如孔洞测量大于34 mm则其必须更换. 工具SC109可以用于装卸.
   4.  清洁并且检查芯轴O形密封圈. 需要更换的要更换. 将O形密封圈放入芯轴 。


SC109




磁条:

磁条支撑



   1.
2.
擦拭 以及/或者 吹净磁条装配件.
仔细检查/清洁磁条水管末端 TRM7. 如果其磨损处直径磨损至 31.5  mm或小于31.5其则需要翻转180度到新的一面，要不就要将之更换。



TRM7




3.
仔细检查磁滚轴 TRM2. 他们要可以自由旋转 . 如果支撑盘已经（或是将要）摩擦到靶里面，则滚轴需要更换。



靶卡环:
支撑盘
滚轴 (TRM-2)



1.
喷砂靶卡环外侧, 如果存在粗糙表面或是尖锐的点则需要打磨。



P1000
17
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.


新靶管:
1.  将要用的新靶放置在站立式的工作架上的V形托块上， 观察并且小心操作以免靶材或靶末端受损。
2.  将靶的最末端暴露出来, 将保护靶身用的包装薄膜留在靶上，不要撕去。
3.  用IPA清洁靶末端的内倒角.确保没有凹点在倒角处，此为密封面。 ，


          内倒角


6.3.4 靶装配程序
1.  在靶管的两端装上卡环线.
2.  将磁装配件放入靶内。要注意靶末端的O形密封圈, 不要碰撞,或是将磁装配件强行拖进靶内, 这样可能会造成损坏或是产生带进杂质. 将外侧装配末端突出的那部分露在靶材外.
3.  将外侧芯轴放置在磁装配件的末端并其推入靶末端. 需要一些滑动的技巧和一些力气
4.  用两个新M8x20mm插孔头盖螺丝固定芯轴和靶末端。这些都是不锈钢卡环上防止刮伤的硬金属. 在这些螺丝上可以用Moly作润滑剂。
   5.  这个靶装配已准备好可以安装阴极末端部分。直接跳到「靶安装，步骤 #1.」。  



P1000
18
12/21/09


CONFIDENTIAL: This document contains confidential and proprietary information of Sputtering Components, Inc. Neither the
document nor any of the information therein is to be reproduced, distributed, used, or disclosed except as authorized by SCI.


6.3.5 靶安装程序
1.  将靶装配件放置靠近末端部分处。


暗区板
  
  


末端部分校准
孔



过滤板




2.
3.
4.
5.
6.
7.
检查磁装配件是否已经准对正确的位置和指向正确的方向，同时把靶末端放在驱动法兰上。
可  


将磁装配件水管接合到末端处的中心水管处，同时将靶滑动的方式放置到法兰上。 适当的将靶校准到一条线上会更易于安装。

安装靶卡环。
安装镀膜板卡 SC90 (详见靶移除程序).
然后安装暗区板。


检查暗区板是否安装正确完好，靶末端处的周围应该有个对称的间隙。

在lid设置入镀膜腔体前移除靶上的保护性套覆盖物。